Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlinTED
Prior Information Notice – Rapid Thermal Processing Equipment (RTA)
Das Ferdinand-Braun-Institut (FBH) plant die Beschaffung eines Rapid Thermal Processing (RTA)-Systems für die Bearbeitung von 200-mm-Wafern im Rahmen des EU-finanzierten APECS-Programms. Das System wird für die Entwicklung und Fertigung fortschrittlicher heterogener Integrationstechnologien (InP-on-Si / BiCMOS) eingesetzt, insbesondere fü...
Angebotsfrist: 11. Juli 2026 (abgelaufen)Typ: Ausschreibung
Messtechnik, Laborinstrumente, Verfahrenstechnik
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- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Veröffentlicht:
- 10. Juni 2026
- Frist:
- 11. Juli 2026
- Thema:
- Messtechnik
Ausschreibungsbeschreibung
Das Ferdinand-Braun-Institut (FBH) plant die Beschaffung eines Rapid Thermal Processing (RTA)-Systems für die Bearbeitung von 200-mm-Wafern im Rahmen des EU-finanzierten APECS-Programms. Das System wird für die Entwicklung und Fertigung fortschrittlicher heterogener Integrationstechnologien (InP-on-Si / BiCMOS) eingesetzt, insbesondere für Kontaktbildung, Dotieraktivierung, Grenzflächenengineering und Temperprozesse. Die Installation erfolgt in einer bestehenden Reinraumumgebung. Das Vergabeverfahren ist für 2026 geplant.
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- Der Auftraggeber ist Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik.
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