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Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlinTED

Prior Information Notice – Maskless Laser Lithography System

The Ferdinand-Braun-Institut (FBH) plans to procure a high-performance maskless laser lithography system within the framework of the EU-funded APECS programme. The system will be used for high-resolution patterning of semiconductor wafers to support the development of advanced heterointegration technologies, including InP- and GaAs-based ...

Angebotsfrist: 11. Juli 2026 (abgelaufen)Typ: Ausschreibung

Messtechnik, Laborinstrumente

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Ausschreibungstyp:
Ausschreibung
Auftraggeber:
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Veröffentlicht:
10. Juni 2026
Frist:
11. Juli 2026
Thema:
Messtechnik

Ausschreibungsbeschreibung

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The Ferdinand-Braun-Institut (FBH) plans to procure a high-performance maskless laser lithography system within the framework of the EU-funded APECS programme. The system will be used for high-resolution patterning of semiconductor wafers to support the development of advanced heterointegration technologies, including InP- and GaAs-based chiplets. It is intended to enable rapid prototyping as well as efficient processing of wafers with diameters up to 200 mm. The equipment must provide sub-micron precision combined with high throughput and support modern multi-beam laser writing technologies. It will be installed in a cleanroom environment and must comply with ISO class 5 requirements. The procurement procedure is planned for 2026.

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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung

Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
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Bis wann läuft die Angebotsfrist?
Die Angebotsfrist endet am 11. Juli 2026.
Wer ist der Auftraggeber?
Der Auftraggeber ist Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik.
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