Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12TED
Cluster ALD PECVD ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5) - PR1036076-2050-P
Anschaffung eines Clustersystems für das Fraunhofer IAF. Das System muss über eine ALD-, eine PECVD- sowie eine ICP-CVD-Abscheidungskammer verfügen und für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern ausgelegt sein. Der Lieferumfang umfasst ein Stück der beschriebenen Anlage.
Typ: Ausschreibung
Verfahrenstechnik
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Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Veröffentlicht:
- 21. April 2026
- Frist:
- Nicht angegeben
- Thema:
- Verfahrenstechnik
Ausschreibungsbeschreibung
Anschaffung eines Clustersystems für das Fraunhofer IAF. Das System muss über eine ALD-, eine PECVD- sowie eine ICP-CVD-Abscheidungskammer verfügen und für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern ausgelegt sein. Der Lieferumfang umfasst ein Stück der beschriebenen Anlage.
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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
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