Annealing Furnace (IAF-06.2)
Beschreibung: 1 Stück Annealing Furnace Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Hochtemperatur-Glühofens. Der Temperaturbereich für die thermische Bearbeitung soll von Raumtemperatur bis zu 1000 °C reichen. Das System soll in der Lage sein, 100- und 150-mm-Wafer zu bearbeiten. Die bei Atmosphärendruck verwendeten Prozessgase sind N...
Kompressoren, Messtechnik, Verfahrenstechnik
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- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Öffentlicher Auftraggeber
- Veröffentlicht:
- 08. April 2026
- Frist:
- Nicht angegeben
- Thema:
- Kompressoren
Ausschreibungsbeschreibung
Beschreibung: 1 Stück Annealing Furnace Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Hochtemperatur-Glühofens. Der Temperaturbereich für die thermische Bearbeitung soll von Raumtemperatur bis zu 1000 °C reichen. Das System soll in der Lage sein, 100- und 150-mm-Wafer zu bearbeiten. Die bei Atmosphärendruck verwendeten Prozessgase sind N2 und O2. Option 1: Contamination and particle prevention Option 2: Manual control of heating, cooling and mass flow controllers Option 3: Remote maintenance
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