Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12TED
ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) - PR1119209-2050-P
1 Stück Chlor ICP-Ätzanlage mit planarer Plasmaquelle, die bestehende qualifizierte Ätzprozesse (Sentech ICP-RIE SI500 537) direkt übernehmen kann, übertragbar auf 150mm Wafer. Optionen: Substratelektroden für 100mm/75mm Wafer und Bruchstücke, beheizter Liner, Serviceerweiterung, Ersatzteilkits (Gasring, MVV-Messröhre, Schalldämpfer, Turb...
Kompressoren, Messtechnik, Verfahrenstechnik, Kühltechnik
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Inhalt auf einen Blick
1 Stück Chlor ICP-Ätzanlage mit planarer Plasmaquelle, die bestehende qualifizierte Ätzprozesse (Sentech ICP-RIE SI500 537) direkt übernehmen kann, übertragbar auf 150mm Wafer. Optionen: Substratelektroden für 100mm/75mm Wafer und Bruchstücke, beheizter Liner, Serviceerweiterung, Ersatzteilkits (Gasring, MVV-Messröhre, Schalldämpfer, T...
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Veröffentlicht:
- 03. Mai 2026
- Frist:
- Nicht angegeben
- Thema:
- Kompressoren
Ausschreibungsbeschreibung
1 Stück Chlor ICP-Ätzanlage mit planarer Plasmaquelle, die bestehende qualifizierte Ätzprozesse (Sentech ICP-RIE SI500 537) direkt übernehmen kann, übertragbar auf 150mm Wafer. Optionen: Substratelektroden für 100mm/75mm Wafer und Bruchstücke, beheizter Liner, Serviceerweiterung, Ersatzteilkits (Gasring, MVV-Messröhre, Schalldämpfer, Turbopumpe, Koppelplatte, Clamping 150mm, Umlaufkühler Julabo, SPS-Steuereinheit).
Weiterführende Details
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
- Kernanforderungen der Ausschreibung priorisiert aufbereitet
- Fristen, Eignungskriterien und Unterlagen in einem Ablauf
- Hinweise zur strukturierten Angebotsvorbereitung
- Passende Folgeausschreibungen automatisch entdecken
Dokumente und Anhänge
49 Dateien erfasst- PDF Notice (BUL)
- PDF Notice (SPA)
- PDF Notice (CES)
- PDF Notice (DAN)
- PDF Notice (DEU)
- PDF Notice (EST)
Ähnliche Bekanntmachungen
2- oben genannte KontaktstellePostleitzahl / Ort: 01445 Radebeul NUTS-3-Code: DED2E Land: Deutschland
Vergebener Auftrag ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1)
Beschaffung einer Trockenätzanlage (Chlor ICP) für das IAF. Die Anlage muss kompatibel sein mit bestehenden Ätzprozessen für Wafer mit 150mm Durchmesser. Gefordert werden u.a. eine planare Plasmaquelle, eine Substratelektrode für 150mm-Wafer sowie Optionen für kleinere Wafer (100mm, 75mm). Zusätzlich werden diverse Ersatzteilkits und Serviceoptionen wie Garantierweiterung und beheizter Liner angeboten. - Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) - PR1119209-2050-P
1 piece Chlorine ICP Chlorine ICP etching system with planar plasma source The etching processes developed and qualified at the IAF for structuring must be directly reusable on the new system and deliver corresponding etching results, as with the etching system currently in use (Sentech ICP-RIE SI500 537). These known processes should be transferable to wafer sizes of 150 mm. Options: Substrate electrode Option to etch wafers with a diameter of 100 mm (flat) and fragments on metal carriers. Substrate electrode Option to etch 75 mm diameter wafers (flat) and fragments on metal carriers. Process chamber Heated liner Service Extended warranty Spare parts kit Gas ring Spare parts kit MVV measuring tube Spare parts kit Silencer and protective cover for lock pump Spare parts kit Turbo pump for lock Spare parts kit Coupling plate without window Spare parts kit Clamping for 150 mm wafers with notch Spare parts kit Julabo recirculating cooler as replacement Spare parts kit PLC control unit (CPU / RFC) Translated with DeepL.com (free version)
Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
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- Bis wann läuft die Angebotsfrist?
- Für diese Bekanntmachung ist aktuell keine konkrete Angebotsfrist angegeben.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12.
- Welche Unterlagen sind für den Start relevant?
- In der Regel benötigen Sie Leistungsbeschreibung, Eignungsnachweise, Fristenhinweise und ggf. Formblätter. Auf Auftrag One werden diese Punkte priorisiert dargestellt.