Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12TED
Cluster ALD PECVD ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5) - PR1036076-2050-P
Anschaffung eines Clustersystems für das Fraunhofer IAF. Das System muss über eine ALD-, eine PECVD- sowie eine ICP-CVD-Abscheidungskammer verfügen und für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern ausgelegt sein. Der Lieferumfang umfasst ein Stück der beschriebenen Anlage.
Type: Tender
Process Technology
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- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Published:
- April 21, 2026
- Deadline:
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- Topic:
- Process Technology
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Anschaffung eines Clustersystems für das Fraunhofer IAF. Das System muss über eine ALD-, eine PECVD- sowie eine ICP-CVD-Abscheidungskammer verfügen und für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern ausgelegt sein. Der Lieferumfang umfasst ein Stück der beschriebenen Anlage.
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