Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12TED
ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) - PR1119209-2050-P
1 Stück Chlor ICP-Ätzanlage mit planarer Plasmaquelle, die bestehende qualifizierte Ätzprozesse (Sentech ICP-RIE SI500 537) direkt übernehmen kann, übertragbar auf 150mm Wafer. Optionen: Substratelektroden für 100mm/75mm Wafer und Bruchstücke, beheizter Liner, Serviceerweiterung, Ersatzteilkits (Gasring, MVV-Messröhre, Schalldämpfer, Turb...
Compressors, Measurement Technology, Process Technology, Cooling Systems
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Published:
- May 03, 2026
- Deadline:
- Not specified
- Topic:
- Compressors
Tender description
1 Stück Chlor ICP-Ätzanlage mit planarer Plasmaquelle, die bestehende qualifizierte Ätzprozesse (Sentech ICP-RIE SI500 537) direkt übernehmen kann, übertragbar auf 150mm Wafer. Optionen: Substratelektroden für 100mm/75mm Wafer und Bruchstücke, beheizter Liner, Serviceerweiterung, Ersatzteilkits (Gasring, MVV-Messröhre, Schalldämpfer, Turbopumpe, Koppelplatte, Clamping 150mm, Umlaufkühler Julabo, SPS-Steuereinheit).
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