Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12TED
ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) - PR1119209-2050-P
1 Stück Chlor ICP-Ätzanlage mit planarer Plasmaquelle, die bestehende qualifizierte Ätzprozesse (Sentech ICP-RIE SI500 537) direkt übernehmen kann, übertragbar auf 150mm Wafer. Optionen: Substratelektroden für 100mm/75mm Wafer und Bruchstücke, beheizter Liner, Serviceerweiterung, Ersatzteilkits (Gasring, MVV-Messröhre, Schalldämpfer, Turb...
Compressors, Measurement Technology, Process Technology, Cooling Systems
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1 Stück Chlor ICP-Ätzanlage mit planarer Plasmaquelle, die bestehende qualifizierte Ätzprozesse (Sentech ICP-RIE SI500 537) direkt übernehmen kann, übertragbar auf 150mm Wafer. Optionen: Substratelektroden für 100mm/75mm Wafer und Bruchstücke, beheizter Liner, Serviceerweiterung, Ersatzteilkits (Gasring, MVV-Messröhre, Schalldämpfer, T...
- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Published:
- May 03, 2026
- Deadline:
- Not specified
- Topic:
- Compressors
Tender description
1 Stück Chlor ICP-Ätzanlage mit planarer Plasmaquelle, die bestehende qualifizierte Ätzprozesse (Sentech ICP-RIE SI500 537) direkt übernehmen kann, übertragbar auf 150mm Wafer. Optionen: Substratelektroden für 100mm/75mm Wafer und Bruchstücke, beheizter Liner, Serviceerweiterung, Ersatzteilkits (Gasring, MVV-Messröhre, Schalldämpfer, Turbopumpe, Koppelplatte, Clamping 150mm, Umlaufkühler Julabo, SPS-Steuereinheit).
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2- oben genannte KontaktstellePostleitzahl / Ort: 01445 Radebeul NUTS-3-Code: DED2E Land: Deutschland
Vergebener Auftrag ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1)
Beschaffung einer Trockenätzanlage (Chlor ICP) für das IAF. Die Anlage muss kompatibel sein mit bestehenden Ätzprozessen für Wafer mit 150mm Durchmesser. Gefordert werden u.a. eine planare Plasmaquelle, eine Substratelektrode für 150mm-Wafer sowie Optionen für kleinere Wafer (100mm, 75mm). Zusätzlich werden diverse Ersatzteilkits und Serviceoptionen wie Garantierweiterung und beheizter Liner angeboten. - Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) - PR1119209-2050-P
1 piece Chlorine ICP Chlorine ICP etching system with planar plasma source The etching processes developed and qualified at the IAF for structuring must be directly reusable on the new system and deliver corresponding etching results, as with the etching system currently in use (Sentech ICP-RIE SI500 537). These known processes should be transferable to wafer sizes of 150 mm. Options: Substrate electrode Option to etch wafers with a diameter of 100 mm (flat) and fragments on metal carriers. Substrate electrode Option to etch 75 mm diameter wafers (flat) and fragments on metal carriers. Process chamber Heated liner Service Extended warranty Spare parts kit Gas ring Spare parts kit MVV measuring tube Spare parts kit Silencer and protective cover for lock pump Spare parts kit Turbo pump for lock Spare parts kit Coupling plate without window Spare parts kit Clamping for 150 mm wafers with notch Spare parts kit Julabo recirculating cooler as replacement Spare parts kit PLC control unit (CPU / RFC) Translated with DeepL.com (free version)
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- The contracting authority is Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12.
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