Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12TED
Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P
1 Stück Wafer- und Maskenreinigungsgerät für Reinraum ISO-Klasse 4. MUSS europäische Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen erfüllen. Reinigung von Wafern und Lithographie-Masken nach RCA-Verfahren mit wässrigen/sauren Lösungen. Prozesskammer aus resistentem Material, Absaugung und Leckageerkennung. Zuverlässige Entfernung von Parti...
Process Technology, Water Treatment
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Published:
- May 03, 2026
- Deadline:
- May 12, 2026
- Topic:
- Process Technology
Tender description
1 Stück Wafer- und Maskenreinigungsgerät für Reinraum ISO-Klasse 4. MUSS europäische Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen erfüllen. Reinigung von Wafern und Lithographie-Masken nach RCA-Verfahren mit wässrigen/sauren Lösungen. Prozesskammer aus resistentem Material, Absaugung und Leckageerkennung. Zuverlässige Entfernung von Partikeln >250 nm von Quarzglas/Wafern für Prozessreinheit des Fraunhofer IAF.
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- The submission deadline is 12. Mai 2026.
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- The contracting authority is Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12.
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