TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OYVTTTED
Beschaffung eines 200 mm Wafer-Ionenstrahl-Trimmers für den Reinraum VTT Micronova
Beschaffung eines Ionenstrahl-Trimmgeräts für 200-mm-Wafer zur Halbleiterfertigung im VTT Micronova Reinraum. Das System muss mit einem Ionen- oder Gasclusterstrahl arbeiten (Halbwertsbreite 3-15 mm) und für die Installation in einem Reinraum der Klasse ISO 4 geeignet sein.
Measurement Technology, Laboratory Instruments, Process Technology
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Published:
- April 27, 2026
- Deadline:
- May 09, 2026
- Topic:
- Measurement Technology
Tender description
Beschaffung eines Ionenstrahl-Trimmgeräts für 200-mm-Wafer zur Halbleiterfertigung im VTT Micronova Reinraum. Das System muss mit einem Ionen- oder Gasclusterstrahl arbeiten (Halbwertsbreite 3-15 mm) und für die Installation in einem Reinraum der Klasse ISO 4 geeignet sein.
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