TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OYVTTTED
Beschaffung eines DUV Steppers 200 mm
Beschaffung eines DUV-Steppers für 200-mm-Wafer. Das Gerät muss sämtliche technischen Spezifikationen, Leistungsanforderungen und Abnahmekriterien gemäß den Anlagen 1 und 2 erfüllen. Teilangebote sind nicht zugelassen. Die Zuschlagserteilung erfolgt nach dem Kriterium des wirtschaftlich günstigsten Angebots (80 % Preis, 20 % Qualität). Op...
Measurement Technology, Laboratory Instruments
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Published:
- April 23, 2026
- Deadline:
- May 25, 2026
- Topic:
- Measurement Technology
Tender description
Beschaffung eines DUV-Steppers für 200-mm-Wafer. Das Gerät muss sämtliche technischen Spezifikationen, Leistungsanforderungen und Abnahmekriterien gemäß den Anlagen 1 und 2 erfüllen. Teilangebote sind nicht zugelassen. Die Zuschlagserteilung erfolgt nach dem Kriterium des wirtschaftlich günstigsten Angebots (80 % Preis, 20 % Qualität). Optionale Funktionen sind in Abschnitt 2.7 der Anlage 1 definiert.
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- The submission deadline is 25. Mai 2026.
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- The contracting authority is TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY.
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