Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12TED
Direct Imaging System (IZM-104.1) - PR801622-2590-P
Beschaffung eines Direct Imaging Systems (Direktbelichtungswerkzeug) mit 1 µm Auflösung für Platten 510 x 515 mm. Das System muss Plattenkrümmungen und topografische Unterschiede ausgleichen sowie eine CD-Gleichmäßigkeit von ± 10 % über die gesamte Platte gewährleisten. Einsatzgebiet: Entwicklung neuer Substrattechnologien für hochintegri...
Laboratory Instruments
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- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Published:
- March 01, 2026
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- Topic:
- Laboratory Instruments
Tender description
Beschaffung eines Direct Imaging Systems (Direktbelichtungswerkzeug) mit 1 µm Auflösung für Platten 510 x 515 mm. Das System muss Plattenkrümmungen und topografische Unterschiede ausgleichen sowie eine CD-Gleichmäßigkeit von ± 10 % über die gesamte Platte gewährleisten. Einsatzgebiet: Entwicklung neuer Substrattechnologien für hochintegrierte System-in-Packages und Wafer-Level-Packages. Optionales Feature: Fernwartung durch Systemhersteller.
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