Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12TED
ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) - PR1146101-2480-P
1 Stück ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) Eine Anlage zum Aufbringen von Metallnitriden und dielektrischen Schichten mittels thermischer ALD-Verarbeitung auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm. Details siehe Vergabeunterlagen. Optionale Positionen gemäß Technical Tender Specification (Phase 2 des Vergabeverfahrens)
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
- Published:
- February 17, 2026
- Deadline:
- March 20, 2026
Tender description
1 Stück ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) Eine Anlage zum Aufbringen von Metallnitriden und dielektrischen Schichten mittels thermischer ALD-Verarbeitung auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm. Details siehe Vergabeunterlagen. Optionale Positionen gemäß Technical Tender Specification (Phase 2 des Vergabeverfahrens)
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