Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) - PR1184859-3460-P
Beschaffung eines vollautomatisierten 300 mm BEOL Large-Field-Belichtungssystems (i-line) für 2.5D/3D-Chiplet-Integration. Ziel ist die Realisierung von BEOL-Verdrahtungen mit Auflösungen <800 nm bis 500 nm L/S und einer Overlay-Genauigkeit <100 nm. Das System bietet Vorder-/Rückseiten-Alignment, variable Schärfentiefe für dicke Resists s...
Measurement Technology, Laboratory Instruments
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Published:
- April 14, 2026
- Deadline:
- Not specified
- Topic:
- Measurement Technology
Tender description
Beschaffung eines vollautomatisierten 300 mm BEOL Large-Field-Belichtungssystems (i-line) für 2.5D/3D-Chiplet-Integration. Ziel ist die Realisierung von BEOL-Verdrahtungen mit Auflösungen <800 nm bis 500 nm L/S und einer Overlay-Genauigkeit <100 nm. Das System bietet Vorder-/Rückseiten-Alignment, variable Schärfentiefe für dicke Resists sowie Optionen für extreme Verformungsausgleiche (>1500-2500 µm), IR-basiertes Rückseiten-Alignment, Pre-Alignment-Korrektur und musterbasierte Erkennung.
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