Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchenTED
Remote Plasma PVD Chamber (IPMS-CNT04.2) - PR917294-2480-P
Beschaffung einer Remote-Plasma-PVD-Kammer als Upgrade für bestehenden Polyteknik Flextura 300 Cluster zur Abscheidung metallischer/nichtmetallischer Dünnschichten auf 300-mm-Wafern. Kompatibel mit vorhandenen Kammern. Optionen: Plasma-Emissions-Monitoring (PEM), Restgasanalysator (RGA), Quarzkristall-Mikrowaage, zusätzlicher Gaseinlass, ...
Typ: Ausschreibung
Kompressoren, Armaturen, Messtechnik, Verfahrenstechnik
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- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau
- Veröffentlicht:
- 30. Juni 2026
- Frist:
- Nicht angegeben
- Thema:
- Kompressoren
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung einer Remote-Plasma-PVD-Kammer als Upgrade für bestehenden Polyteknik Flextura 300 Cluster zur Abscheidung metallischer/nichtmetallischer Dünnschichten auf 300-mm-Wafern. Kompatibel mit vorhandenen Kammern. Optionen: Plasma-Emissions-Monitoring (PEM), Restgasanalysator (RGA), Quarzkristall-Mikrowaage, zusätzlicher Gaseinlass, vorinstallierte Targets (Zr, Nb, Cu, SiN), Gewährleistungsverlängerung um 1 Jahr.
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