Paul Scherrer Institut (PSI)Villigen PSI
Mehrrohr-Thermoprozessofen (MTPF) für Oxidation und LPCVD im PSI PICO Reinraum
Beschaffung eines Mehrrohr-Thermoprozessofens (MTPF) für Oxidation und LPCVD. Kapazität: 50 Wafer (200 mm) pro Durchlauf, Automatisierung für mind. 4 Chargen. Ausstattung: 4 Röhren (Oxidation, Si3N4, SiO2, poly-/amorphes Si). Installation als Wanddurchführung (Beladung Reinraum, Technik Grauraum). Auslegung für 24/7-Betrieb, Verfügbarkeit...
Pumpen, Kompressoren, Laborinstrumente, Verfahrenstechnik
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Inhalt auf einen Blick
Beschaffung eines Mehrrohr-Thermoprozessofens (MTPF) für Oxidation und LPCVD. Kapazität: 50 Wafer (200 mm) pro Durchlauf, Automatisierung für mind. 4 Chargen. Ausstattung: 4 Röhren (Oxidation, Si3N4, SiO2, poly-/amorphes Si). Installation als Wanddurchführung (Beladung Reinraum, Technik Grauraum). Auslegung für 24/7-Betrieb, Verfügbark...
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Paul Scherrer Institut (PSI)
- Veröffentlicht:
- 24. April 2026
- Frist:
- 19. Juli 2026
- Thema:
- Pumpen
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung eines Mehrrohr-Thermoprozessofens (MTPF) für Oxidation und LPCVD. Kapazität: 50 Wafer (200 mm) pro Durchlauf, Automatisierung für mind. 4 Chargen. Ausstattung: 4 Röhren (Oxidation, Si3N4, SiO2, poly-/amorphes Si). Installation als Wanddurchführung (Beladung Reinraum, Technik Grauraum). Auslegung für 24/7-Betrieb, Verfügbarkeit mind. 90 %, 2 Jahre Garantie.
Weiterführende Details
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Dokumente und Anhänge
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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
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- Bis wann läuft die Angebotsfrist?
- Die Angebotsfrist endet am 19. Juli 2026.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist Paul Scherrer Institut (PSI).
- Welche Unterlagen sind für den Start relevant?
- In der Regel benötigen Sie Leistungsbeschreibung, Eignungsnachweise, Fristenhinweise und ggf. Formblätter. Auf Auftrag One werden diese Punkte priorisiert dargestellt.