Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.TED
Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher
Beschaffung eines Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si-Fluor-Chemie-Ätzers für das IBC-Reinraumlabor (MagKI-Programm). Das Gerät ermöglicht Deep-Trench- (Bosch-Prozess) und Through-Via-Ätzungen in Si, SiC sowie 2D-Materialien (Graphen, MoS2). Anforderungen: ISO-Klasse-6-Betrieb, Probenladung in ISO 4/5, CE-Kennzeichnung, Dokumentation (DE/...
Laborinstrumente
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Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
- Veröffentlicht:
- 25. März 2026
- Frist:
- 28. April 2026
- Thema:
- Laborinstrumente
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung eines Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si-Fluor-Chemie-Ätzers für das IBC-Reinraumlabor (MagKI-Programm). Das Gerät ermöglicht Deep-Trench- (Bosch-Prozess) und Through-Via-Ätzungen in Si, SiC sowie 2D-Materialien (Graphen, MoS2). Anforderungen: ISO-Klasse-6-Betrieb, Probenladung in ISO 4/5, CE-Kennzeichnung, Dokumentation (DE/EN), Lieferung/Installation/SAT bis 01.06.2027, mind. 2 Jahre Garantie. Ort: HZDR Dresden, IBC, Gebäude 711, Raum 105. Lieferung DPU Dresden.
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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
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- Der Auftraggeber ist Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V..
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