Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)TED
Beschaffung einer DRIE-Anlage (Deep Reactive Ion Etching) für Reinraum-Mikrostrukturierung
Beschaffung einer DRIE-Anlage (Deep Reactive Ion Etching) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) für einen neuen Reinraum. Ziel ist das Ätzen tiefer Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Siliziumsubstrate/-schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken. Der Auftrag umfasst Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schu...
Kompressoren, Messtechnik, Laborinstrumente, Verfahrenstechnik
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Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
- Veröffentlicht:
- 26. März 2026
- Frist:
- Nicht angegeben
- Thema:
- Kompressoren
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung einer DRIE-Anlage (Deep Reactive Ion Etching) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) für einen neuen Reinraum. Ziel ist das Ätzen tiefer Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Siliziumsubstrate/-schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken. Der Auftrag umfasst Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung. Es können neue oder neuwertige, generalüberholte Systeme angeboten werden. Medien und Peripherie werden separat bereitgestellt.
Weiterführende Details
Mit dem kostenlosen Zugang stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
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7 Datenbereiche verfügbar
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Unterlagen
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- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
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- Bis wann läuft die Angebotsfrist?
- Für diese Bekanntmachung ist aktuell keine konkrete Angebotsfrist angegeben.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR).
- Welche Unterlagen sind für den Start relevant?
- In der Regel benötigen Sie Leistungsbeschreibung, Eignungsnachweise, Fristenhinweise und ggf. Formblätter. Auf Auftrag One werden diese Punkte priorisiert dargestellt.