Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchenTED
300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) - PR1191754-3460-P
Ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Overlay- und Critical-Dimension-Strukturen auf 300-mm- und 200-mm-Wafern. Das Gerät muss in der Lage sein, Wafer aus Front-Opening Unified Pods (FOUPs) zu laden, Messaufgaben durchzuführen und die Wafer anschließend wieder an ihre ursprünglichen Positionen zurückzulegen. Die Anlage muss ko...
Typ: Ausschreibung
Messtechnik
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Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau
- Veröffentlicht:
- 07. Juli 2026
- Frist:
- Nicht angegeben
- Thema:
- Messtechnik
Ausschreibungsbeschreibung
Ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Overlay- und Critical-Dimension-Strukturen auf 300-mm- und 200-mm-Wafern. Das Gerät muss in der Lage sein, Wafer aus Front-Opening Unified Pods (FOUPs) zu laden, Messaufgaben durchzuführen und die Wafer anschließend wieder an ihre ursprünglichen Positionen zurückzulegen. Die Anlage muss kontinuierlich und ohne Unterbrechungen funktionieren und mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen übereinstimmen.
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