Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.WaldheimTED
Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Der Auftragnehmer liefert, installiert und übergibt dem Auftraggeber ein definiertes Elektronenstrahl-Lithografiesystem zur hochauflösenden Strukturierung von Mikro- und Nanostrukturen. Eine genaue Beschreibung ist dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen.
Messtechnik, Laborinstrumente
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