Universität StuttgartTED
Wafersäge für photonische Kavitäten mit Quantenpunktstrukturen
Beschaffung einer hochpräzisen Trennsäge für die Herstellung photonischer Komponenten. Gefordert ist die Fähigkeit, InAs-Quantenpunktstrukturen auf metamorphen Pufferschichten (InGaAs/GaAs) zu bearbeiten. Anwendungen umfassen: 1) Skalierung des QD-Wachstums auf 4-Zoll-Wafer, 2) Herstellung von Bullseye-Kavitäten mit variablen Wellenlängen...
Laboratory Instruments
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- Universität Stuttgart
- Published:
- March 02, 2026
- Deadline:
- April 02, 2026
- Topic:
- Laboratory Instruments
Tender description
Beschaffung einer hochpräzisen Trennsäge für die Herstellung photonischer Komponenten. Gefordert ist die Fähigkeit, InAs-Quantenpunktstrukturen auf metamorphen Pufferschichten (InGaAs/GaAs) zu bearbeiten. Anwendungen umfassen: 1) Skalierung des QD-Wachstums auf 4-Zoll-Wafer, 2) Herstellung von Bullseye-Kavitäten mit variablen Wellenlängen durch Epitaxie, Wafer-Bonding auf Silizium, Membranbearbeitung und Dicing, 3) Vorbereitung duktiler Facetten für optisch glatte Wellenleiteroberflächen, 4) Schnitt von Silizium-basierten integrierten Schaltungen für III-V/Si-quantenphotonische integrierte Schaltungen (QPICs). Die Säge muss präzise Trennschnitte für alle genannten Prozesse ermöglichen.
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