Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchenTED
Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P
1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Beschafft werden soll ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät, das in einem Reinraum der ISO-Klasse 4 aufgestellt werden soll und den europäischen Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen entsprechen muss. In der Anlage sollen Wafer und Lithographie-Masken in Anlehnung an den RCA-Reinigun...
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- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau
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- August 05, 2026
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1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Beschafft werden soll ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät, das in einem Reinraum der ISO-Klasse 4 aufgestellt werden soll und den europäischen Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen entsprechen muss. In der Anlage sollen Wafer und Lithographie-Masken in Anlehnung an den RCA-Reinigungsprozess mit Hilfe wässriger und saurer Lösungen von Partikeln und Verschmutzungen befreit werden. Um sicheres Arbeiten und eine hohe Langlebigkeit zu gewährleisten, muss die Prozesskammer aus prozessmedienresistentem Material gefertigt sein und über eine Absaugung sowie eine Leckageerkennung verfügen. Die Anlage muss in der Lage sein, Partikel größer als 250 nm zuverlässig von (Quarz-)Glas oder Wafern zu entfernen, um die für die Prozesse im Reinraum des Fraunhofer IAF erforderliche Reinheit sicherzustellen und die Prozessausbeute nicht zu beeinträchtigen.
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Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchenBeschreibung: 1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Beschafft werden soll ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät, das in einem Reinraum der ISO-Klasse 4 aufgestellt werden soll und den europäischen Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen entsprechen muss. In der Anlage sollen Wafer und Lithographie-Masken in Anlehnung an den RCA-Reinigungsprozess mit Hilfe wässriger und saurer Lösungen von Partikeln und Verschmutzungen befreit werden. Um sicheres Arbeiten und eine hohe Langlebigkeit zu gewährleisten, muss die Prozesskammer aus prozessmedienresistentem Material gefertigt sein und über eine Absaugung sowie eine Leckageerkennung verfügen. Die Anlage muss in der Lage sein, Partikel größer als 250 nm zuverlässig von (Quarz-)Glas oder Wafern zu entfernen, um die für die Prozesse im Reinraum des Fraunhofer IAF erforderliche Reinheit sicherzustellen und die Prozessausbeute nicht zu beeinträchtigen.CMP-System für 100/150‑mm‑Wafer (IAF-03) - PR1199438-2050-P
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Textilforschungsinstitut Thüringen-Vogtland e.V.Deadline: Jul 271) Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle: Offizielle Bezeichnung: Textilforschungsinstitut Thüringen-Vogtland e.V.; Straße, Hausnummer: Zeulenrodaer Str. 42-44; Postleitzahl: 07973; Ort: Greiz; Land: DE Den Zuschlag erteilende Stelle: s.o. Stelle, bei der die Angebote oder Teilnahmeanträge einzureichen sind: s.o. 2) Verfahrensart: Öffentliche Ausschreibung, Vergabenummer: TITV 02_2026 3) Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Angebote können nur elektronisch abgegeben werden. 4) Ggf. in den Fällen des § 29 (3) die Maßnahmen zum Schutz der Vertraulichkeit und die Informationen zum Zugriff auf die Vergabeunterlagen: nicht angegeben 5) Art und Umfang der Leistung: Beschafft werden soll eine Trommelfärbemaschine zur präzisen und reproduzierbaren Durchführung von Färbeprozessen im Labormaßstab (bis 5 kg Material). Genutzt werden soll diese Maschine zur Entwicklung und Optimierung neuer Färbe- und Veredelungsverfahren. Hervorzuheben ist, dass diese Maschine einen großen pH-Wert-Bereich (pH = 4-11) abdecken muss aufgrund der experimentellen Verfahren für die diese genutzt werden soll. Zusätzlich ist ein Ablassventil am Boden der Maschine zum Ablassen der Färbeflotte erforderlich. Alle weiteren Details zu den Anforderungen entnehmen Sie bitte der entsprechenden Leistungsbeschreibung. Ort(e) der Leistungserbringung: Postleitzahl: 07973; Ort: Greiz; Land: DE 6) Ggf. Anzahl, Größe und Art der einzelnen Lose: entfällt, da keine losweise Vergabe 7) Nebenangebote sind nicht zugelassen. 8) Etwaige Bestimmungen über die Ausführungsfrist: Beginn: 24.08.2026, Ende: 15.11.2026 9) Die Vergabeunterlagen werden auf der Vergabeplattform evergabe.de bereitgestellt. Ein unentgeltlicher Abruf ohne Registrierung ist möglich unter https://www.evergabe.de/unterlagen/3415649/zustellweg-auswaehlen. 10) Angebotsfrist: 27.07.2026, 10:00 Uhr; Bindefrist: 21.08.2026 11) Höhe etwa geforderter Sicherheitsleistungen: nicht angegeben 12) Wesentliche Zahlungsbedingungen oder Angabe der Unterlagen, in denen sie enthalten sind: Siehe Leistungsbeschreibung - Punkt 7.3 13) Mit dem Angebot oder dem Teilnahmeantrag vorzulegenden Unterlagen, die der Auftraggeber für die Beurteilung der Eignung des Bewerbers oder Bieters und des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen verlangt: 1) Angebotsschreiben vom Bieter 2) Leistungsbeschreibung – Mindestanforderungen/Vorgaben des Auftraggebers ausgefüllt und rechtsverbindlich unterzeichnet 3) Rechtsverbindlich* unterzeichnete Erklärung nach § 123, 124 GWB, dass keine Ausschlussgründe vorliegen (Anlage A) oder Erklärung gleichen Inhalts. 4) Nachweis der Eintragung im Berufs- oder Handelsregister des Mitgliedsstaates, in dem der Bewerber ansässig ist (Kopie, max. 1 Jahr alt). Sofern das Unternehmen nicht im Handelsregister eingetragen ist und keine handelsrechtliche Eintragungspflicht besteht, ist die Kopie der Gewerbean- bzw. –ummeldung einzureichen. Sofern auch die Gewerbeanmeldung entbehrlich ist, ist dies zu klären. Die Abgabe des Teilnahmeantrages ist dann unter Angabe der Umsatzsteuernummer möglich. 5) Alternativ zu vorstehenden Forderungen (2-3) Abgabe der gültigen Eintragungsbescheinigung in das AV-PQ (Amtliches Verzeichnis Präqualifizierter Unternehmen) 6) Erklärung zur Tariftreue und Entgeltgleichheit 7) Erklärung zur Einhaltung der Vorgaben des Mindestlohngesetzes 8) Eigenerklärung zum Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 14) Angabe der Zuschlagskriterien, sofern diese nicht in den Vergabeunterlagen genannt werden: entfällt, siehe Vergabeunterlagen
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