Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchenTED
Remote Plasma PVD Chamber (IPMS-CNT04.2) - PR917294-2480-P
Beschaffung einer Remote-Plasma-PVD-Kammer als Upgrade für bestehenden Polyteknik Flextura 300 Cluster zur Abscheidung metallischer/nichtmetallischer Dünnschichten auf 300-mm-Wafern. Kompatibel mit vorhandenen Kammern. Optionen: Plasma-Emissions-Monitoring (PEM), Restgasanalysator (RGA), Quarzkristall-Mikrowaage, zusätzlicher Gaseinlass, ...
Type: Tender
Compressors, Valves & Fittings, Measurement Technology, Process Technology
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- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau
- Published:
- June 30, 2026
- Deadline:
- Not specified
- Topic:
- Compressors
Tender description
Beschaffung einer Remote-Plasma-PVD-Kammer als Upgrade für bestehenden Polyteknik Flextura 300 Cluster zur Abscheidung metallischer/nichtmetallischer Dünnschichten auf 300-mm-Wafern. Kompatibel mit vorhandenen Kammern. Optionen: Plasma-Emissions-Monitoring (PEM), Restgasanalysator (RGA), Quarzkristall-Mikrowaage, zusätzlicher Gaseinlass, vorinstallierte Targets (Zr, Nb, Cu, SiN), Gewährleistungsverlängerung um 1 Jahr.
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