Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchenTED
ALD System Upgrade (IPMS-CNT06.2) - PR867128-2480-P
1 ALD-System-Upgrade: Pulsar-Upgrade (1 Kammer an bestehendes Mainframe) / Pulsar-Upgrade (1 Kammer an bestehendem XP4-Mainframe). Spezifikation für Upgrade zur Abscheidung dielektrischer Schichten (dotiertes HfO2) mittels thermischer ALD auf 300 mm Wafern. Zweite Pulsar-Kammer von ASM muss mit vorhandenem Mainframe XP4 sowie Kammern Puls...
Pumps, Measurement Technology, Laboratory Instruments, Process Technology
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau
- Published:
- June 29, 2026
- Deadline:
- Not specified
- Topic:
- Pumps
Tender description
1 ALD-System-Upgrade: Pulsar-Upgrade (1 Kammer an bestehendes Mainframe) / Pulsar-Upgrade (1 Kammer an bestehendem XP4-Mainframe). Spezifikation für Upgrade zur Abscheidung dielektrischer Schichten (dotiertes HfO2) mittels thermischer ALD auf 300 mm Wafern. Zweite Pulsar-Kammer von ASM muss mit vorhandenem Mainframe XP4 sowie Kammern Pulsar und EmerALD kompatibel sein. Optionen: zusätzlicher Loadport, Waferrotation, Insitu-Ellipsometer, Notch Aligner (Genauigkeit ≤0.5°/≤0.1mm), Quarzwafer, alternative Al-Quellen, Ta2O3-Prozess mit Halogenid-Precursor, dritte beheizte Option.
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