Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.ErlangenTED
Upgrade Prozessüberwachungssystem (Nanofocus) mit automatischem Wafer-Handling, Fraunhofer IPMS CNT
Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus Topographiemesssystem, SN 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handlingsystem für Wafer in einer geschlossenen Umgebung. Das System ermöglicht den Transport von 300-mm-Wafern aus einem SEMI-FOUP zum Messgerät sowie die Zuführung...
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Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus Topographiemesssystem, SN 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handlingsystem für Wafer in einer geschlossenen Umgebung. Das System ermöglicht den Transport von 300-mm-Wafern aus einem SEMI-FOUP zum Messgerät sowie die Zuführ...
- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
- Published:
- February 19, 2026
- Deadline:
- March 09, 2026
Tender description
Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus Topographiemesssystem, SN 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handlingsystem für Wafer in einer geschlossenen Umgebung. Das System ermöglicht den Transport von 300-mm-Wafern aus einem SEMI-FOUP zum Messgerät sowie die Zuführung von 200-mm-Wafern mittels Adapter, um diese auf 300-mm-Anlagen zu verarbeiten und in SEMI-konformen 300-mm-FOUPs zu handhaben.
Further details
After registration, documents, deadlines and submission notes are available in a structured format.
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- Deadlines, eligibility criteria and documents in one workflow
- Guidance for structured bid preparation
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Documents and attachments
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Frequently asked questions about this tender
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- The submission deadline is 09. März 2026.
- Who is the contracting authority?
- The contracting authority is Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V..
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