Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.ErlangenTED
Upgrade des Prozess-Monitoring-Systems (Nanofocus Topographie-Messsystem) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5
Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus-Topografiemesssystem, Seriennummer 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handhabungssystem für Wafer in einer separat gekapselten Umgebung. Das System kann Wafer aus einem SEMI-300-mm-FOUP in das bestehende Messwerkzeug überführe...
Submission deadline: March 09, 2026 (expired)Type: Tender
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- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
- Published:
- February 19, 2026
- Deadline:
- March 09, 2026
Tender description
Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus-Topografiemesssystem, Seriennummer 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handhabungssystem für Wafer in einer separat gekapselten Umgebung. Das System kann Wafer aus einem SEMI-300-mm-FOUP in das bestehende Messwerkzeug überführen. Es ist zudem in der Lage, 200-mm-Wafer in einen geeigneten Adapter einzuführen, um sie auf Standard-300-mm-Werkzeugen zu verarbeiten, und diese 200-mm-Wafer im Adapter in einen SEMI-Standard-300-mm-FOUP zu handhaben.
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