Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.JenaTED
ALD-Anlage
Ausschreibung für eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) zur Abscheidung von Dünnschichten auf Substraten vom Einzelchipformat (5x5 mm²) bis 150 mm Wafer. Das System muss reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten sowie Multilagen ohne Vakuumunterbrechung erm...
Laboratory Instruments, Process Technology
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Published:
- July 07, 2026
- Deadline:
- August 11, 2026
- Topic:
- Laboratory Instruments
Tender description
Ausschreibung für eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) zur Abscheidung von Dünnschichten auf Substraten vom Einzelchipformat (5x5 mm²) bis 150 mm Wafer. Das System muss reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten sowie Multilagen ohne Vakuumunterbrechung ermöglichen. Lieferung eines Steuer-PCs mit Monitor, Tastatur, Maus, Softwarelizenzen und Betriebssystem (Win 11).
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