Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchen
Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3)
Beschreibung: 1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Beschafft werden soll ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät, das in einem Reinraum der ISO-Klasse 4 aufgestellt werden soll und den europäischen Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen entsprechen muss. In der Anlage sollen Wafer und Lithographie-Masken in Anlehnung an de...
Ohne Kreditkarte · Sofortiger Zugang
Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau
- Veröffentlicht:
- 03. August 2026
- Frist:
- Nicht angegeben
Ausschreibungsbeschreibung
Vollständige Beschreibung anzeigenBeschreibung einklappen
Beschreibung: 1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Beschafft werden soll ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät, das in einem Reinraum der ISO-Klasse 4 aufgestellt werden soll und den europäischen Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen entsprechen muss. In der Anlage sollen Wafer und Lithographie-Masken in Anlehnung an den RCA-Reinigungsprozess mit Hilfe wässriger und saurer Lösungen von Partikeln und Verschmutzungen befreit werden. Um sicheres Arbeiten und eine hohe Langlebigkeit zu gewährleisten, muss die Prozesskammer aus prozessmedienresistentem Material gefertigt sein und über eine Absaugung sowie eine Leckageerkennung verfügen. Die Anlage muss in der Lage sein, Partikel größer als 250 nm zuverlässig von (Quarz-)Glas oder Wafern zu entfernen, um die für die Prozesse im Reinraum des Fraunhofer IAF erforderliche Reinheit sicherzustellen und die Prozessausbeute nicht zu beeinträchtigen.
Weiterführende Details
Mit dem kostenlosen Zugang stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
- Kernanforderungen der Ausschreibung priorisiert aufbereitet
- Fristen, Eignungskriterien und Unterlagen in einem Ablauf
- Hinweise zur strukturierten Angebotsvorbereitung
- Passende Folgeausschreibungen automatisch entdecken
30 Tage kostenlos · keine Kreditkarte · jederzeit kündbar
Alle Vergabedetails
Auftraggeber, Lose, Beteiligte, Orte, Unterlagen und Verfahrensdaten sind bereits erfasst. Öffnen Sie einen Bereich, um die vollständigen Angaben im Workspace zu sehen.
4 Datenbereiche verfügbar
30 Tage kostenlos · keine Kreditkarte · jederzeit kündbar
Unterlagen
Freischalten1 Angabe erfasstDokumentenpaket
Auftraggeber
Freischalten6 Angaben erfasstAuftraggeber · Anschrift · Kontakt
Verfahrensdaten
Freischalten6 Angaben erfasstBekanntmachungsnummer · Verfahrensreferenz · Referenz des Auftraggebers · Verfahrensart · +2 weitere
Ausführungsorte
Freischalten2 Angaben erfasstAusführungsorte
Ähnliche Bekanntmachungen
5Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchen1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Beschafft werden soll ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät, das in einem Reinraum der ISO-Klasse 4 aufgestellt werden soll und den europäischen Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen entsprechen muss. In der Anlage sollen Wafer und Lithographie-Masken in Anlehnung an den RCA-Reinigungsprozess mit Hilfe wässriger und saurer Lösungen von Partikeln und Verschmutzungen befreit werden. Um sicheres Arbeiten und eine hohe Langlebigkeit zu gewährleisten, muss die Prozesskammer aus prozessmedienresistentem Material gefertigt sein und über eine Absaugung sowie eine Leckageerkennung verfügen. Die Anlage muss in der Lage sein, Partikel größer als 250 nm zuverlässig von (Quarz-)Glas oder Wafern zu entfernen, um die für die Prozesse im Reinraum des Fraunhofer IAF erforderliche Reinheit sicherzustellen und die Prozessausbeute nicht zu beeinträchtigen.KDN-14-2025-08.3
KDN - Dachverband kommunaler IT DienstleisterKölnFrist: 17. Sept.Gegenstand dieses Vergabeverfahrens ist der Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen je Los zur Lieferung von Apple Zubehör sowie korrespondierenden Produkten, insbesondere: Los 1: Apple Zubehör Los 2: Apple Zubehör Los 3: Ladekoffer u. -wagen Ein detailliertes Leistungsverzeichnis je Los ist diesem Dokument als Anlage 1.2 (Leistungsverzeichnis / Preisblatt) beigefügt. Die Höchstwerte je Los für 48 Monate betragen: Los 1 = 52.706.850,00 EUR Los 2 = 28.636.008,70 EUR Los 3 = 16.865.037,50 EUR Bezugsberechtigt sind die in Anlage 1.3 der Rahmenvereinbarung Genannten.CMP-System für 100/150‑mm‑Wafer (IAF-03)
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchenBeschreibung: 1 CMP-System zur chemisch-mechanischen Politur dielektrischer Schichten wie Siliziumoxid auf 100‑mm- und 150‑mm-Si- und III-V-Halbleiterwafern mit integrierter Reinigung und optischer Endpunkterkennung. Ziel des Polierens ist die Planarisierung und Verbesserung der Oberflächenrauheit, um ein anschließendes Wafer-Fusionsbonden von III-V-Halbleitern mit Si-Wafern zu ermöglichen. Option 1: Separate drainage lines for DI water and chemicals Option 2: SECS/GEM interface Option 3: Torque EPDCMP-System für 100/150‑mm‑Wafer (IAF-03) - PR1199438-2050-P
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchen1 CMP-System zur chemisch-mechanischen Politur dielektrischer Schichten wie Siliziumoxid auf 100‑mm- und 150‑mm-Si- und III-V-Halbleiterwafern mit integrierter Reinigung und optischer Endpunkterkennung. Ziel des Polierens ist die Planarisierung und Verbesserung der Oberflächenrauheit, um ein anschließendes Wafer-Fusionsbonden von III-V-Halbleitern mit Si-Wafern zu ermöglichen. Option 1: Separate drainage lines for DI water and chemicals Option 2: SECS/GEM interface Option 3: Torque EPDRetrofit Aufdampfanlage M600
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchenFrist: 10. Sept.Beschreibung: Retrofit Aufdampfanlage M600
Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
- Erstellen Sie ein kostenloses Konto auf Auftrag One. Danach sehen Sie alle Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung in einem strukturierten Ablauf.
- Bis wann läuft die Angebotsfrist?
- Für diese Bekanntmachung ist aktuell keine konkrete Angebotsfrist angegeben.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau.
- Welche Unterlagen sind für den Start relevant?
- In der Regel benötigen Sie Leistungsbeschreibung, Eignungsnachweise, Fristenhinweise und ggf. Formblätter. Auf Auftrag One werden diese Punkte priorisiert dargestellt.