IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikFrankfurt (Oder)TED
Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems (AMAT) auf WxZ Sprint Konfiguration: Lieferung, Integration und Inbetriebnahme von Hard- und Software sowie Modifikation des Gasverteilungssystems für gepulste Wolfram-Abscheidung (High Aspect Ratio Gap-Fill) und Integration zusätzlicher Hardware für Depositionsdrücke bis 300 Torr. Komp...
Armaturen, Messtechnik, Verfahrenstechnik
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Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
- Veröffentlicht:
- 04. Juni 2026
- Frist:
- 07. Juli 2026
- Thema:
- Armaturen
Ausschreibungsbeschreibung
Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems (AMAT) auf WxZ Sprint Konfiguration: Lieferung, Integration und Inbetriebnahme von Hard- und Software sowie Modifikation des Gasverteilungssystems für gepulste Wolfram-Abscheidung (High Aspect Ratio Gap-Fill) und Integration zusätzlicher Hardware für Depositionsdrücke bis 300 Torr. Kompatibilität mit vorhandener Anlagenkonfiguration erforderlich.
Weiterführende Details
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- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
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- Bis wann läuft die Angebotsfrist?
- Die Angebotsfrist endet am 07. Juli 2026.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik.
- Welche Unterlagen sind für den Start relevant?
- In der Regel benötigen Sie Leistungsbeschreibung, Eignungsnachweise, Fristenhinweise und ggf. Formblätter. Auf Auftrag One werden diese Punkte priorisiert dargestellt.