Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12ZV Hansastraße 27C 80686 München
Single Chamber Cleaning Tool (IZM-137)
Ein Nasschemikalien-Reinigungssystem für die Halbleiterfertigung, das verschiedene Medienversorgungseinheiten, Sprüh- und Spülmodule sowie Ionisierungseinheiten zur präzisen Steuerung und Überwachung der Prozessparameter umfasst. Das System unterstützt die Reinigung von Fotomasken, Wafer-Substraten und runden Wafern mit 200 mm und 300 mm ...
Pumpen, Kompressoren, Armaturen, Messtechnik, Verfahrenstechnik
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Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Veröffentlicht:
- 11. Mai 2026
- Frist:
- Nicht angegeben
- Thema:
- Pumpen
Ausschreibungsbeschreibung
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Ein Nasschemikalien-Reinigungssystem für die Halbleiterfertigung, das verschiedene Medienversorgungseinheiten, Sprüh- und Spülmodule sowie Ionisierungseinheiten zur präzisen Steuerung und Überwachung der Prozessparameter umfasst. Das System unterstützt die Reinigung von Fotomasken, Wafer-Substraten und runden Wafern mit 200 mm und 300 mm Durchmesser. Es verwendet Piranha- und SC1-Chemikalienlösungen und ergänzt diese mit Ultraschallbewegung oder bürstenunterstützter Reinigung, um eine gründliche Entfernung von Partikeln und Oberflächenverunreinigungen zu gewährleisten. Optionale Features umfassen eine extreme Verformung und Durchbiegung, eine verbesserte Entfernung von Partikeln und Rückständen durch direkten Oberflächenkontakt und eine chemisch beständige Bürstenmaterial.
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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
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- Der Auftraggeber ist Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12.
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