Imec EU Pilot line NVHeverleeTED
Aankoop PVD-toestel voor MRAM
de aankoop van een toestel voor het PVD Toestel voor MRAM Een 300mm wafer compatibel, multi-chamber PVD platform ontworpen voor hoge doorvoer van magnetische tunnelkruisingen. Daarnaast moeten de volgende PVD en proceskamerontwerpen worden ondersteund: 1. Multi-kathode PVD-kamer 2. Een voorreinigingskamer om native oxiden en andere veront...
Laborinstrumente
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- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Imec EU Pilot line NV
- Veröffentlicht:
- 09. März 2026
- Frist:
- Nicht angegeben
- Thema:
- Laborinstrumente
Ausschreibungsbeschreibung
de aankoop van een toestel voor het PVD Toestel voor MRAM Een 300mm wafer compatibel, multi-chamber PVD platform ontworpen voor hoge doorvoer van magnetische tunnelkruisingen. Daarnaast moeten de volgende PVD en proceskamerontwerpen worden ondersteund: 1. Multi-kathode PVD-kamer 2. Een voorreinigingskamer om native oxiden en andere verontreinigingen te verwijderen 3. Ontgassing/annealing mogelijkheden 4. Een cryogene trap (<100K) optie in, of ex situ van de PVD-modules. Bovendien moet het platfo
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Lose
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Ausführungsorte
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