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Upgrade Prozessüberwachungssystem (Nanofocus) mit automatischem Wafer-Handling, Fraunhofer IPMS CNT
Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus Topographiemesssystem, SN 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handlingsystem für Wafer in einer geschlossenen Umgebung. Das System ermöglicht den Transport von 300-mm-Wafern aus einem SEMI-FOUP zum Messgerät sowie die Zuführung...
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Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
- Veröffentlicht:
- 19. Februar 2026
- Frist:
- 09. März 2026
Ausschreibungsbeschreibung
Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus Topographiemesssystem, SN 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handlingsystem für Wafer in einer geschlossenen Umgebung. Das System ermöglicht den Transport von 300-mm-Wafern aus einem SEMI-FOUP zum Messgerät sowie die Zuführung von 200-mm-Wafern mittels Adapter, um diese auf 300-mm-Anlagen zu verarbeiten und in SEMI-konformen 300-mm-FOUPs zu handhaben.
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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
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- Der Auftraggeber ist Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V..
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