Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.ErlangenTED
Upgrade Prozessüberwachungssystem (Nanofocus) mit automatischem Wafer-Handling, Fraunhofer IPMS CNT
Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus Topographiemesssystem, SN 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handlingsystem für Wafer in einer geschlossenen Umgebung. Das System ermöglicht den Transport von 300-mm-Wafern aus einem SEMI-FOUP zum Messgerät sowie die Zuführung...
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