TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OYVTTTED
Plasma enhanced chemical vapour deposition tool
Beschaffung eines automatisierten PECVD-Systems (Plasma-enhanced chemical vapor deposition) für den Kassettenbetrieb zur Abscheidung dielektrischer Dünnschichten (SiO₂, SiN, TEOS, SiON, a-Si) für Forschung und Pilotlinien im VTT Micronova Reinraum. Die Vergabe erfolgt als Direktvergabe an KLA/SPTS, da eine technische Integration in ein be...
Laborinstrumente
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Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Veröffentlicht:
- 11. Mai 2026
- Frist:
- Nicht angegeben
- Thema:
- Laborinstrumente
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung eines automatisierten PECVD-Systems (Plasma-enhanced chemical vapor deposition) für den Kassettenbetrieb zur Abscheidung dielektrischer Dünnschichten (SiO₂, SiN, TEOS, SiON, a-Si) für Forschung und Pilotlinien im VTT Micronova Reinraum. Die Vergabe erfolgt als Direktvergabe an KLA/SPTS, da eine technische Integration in ein bestehendes DRIE-System des Herstellers erforderlich ist, um die Lebensdauer der Ätzkammer zu verlängern und den Platzbedarf zu optimieren.
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Mit dem kostenlosen Zugang stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
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- Der Auftraggeber ist TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY.
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