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Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12TED

Optical measurement tool (IMS-03) - PR887737-2380-P

Beschaffung eines spektroskopischen Ellipsometers zur Charakterisierung dielektrischer Schichten (SiO2, TiO2, Si3N4, AlN) für die QMI-Backend-Integration. Anforderungen: Wellenlängenbereich 300–1700 nm, spektrale Auflösung < 5 nm, vollautomatische 200-mm-Wafer-Bearbeitung (Kassette zu Kassette). Inklusive Offline-Software für Materialmode...

Typ: Ausschreibung

Laborinstrumente

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Ausschreibungstyp:
Ausschreibung
Auftraggeber:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Veröffentlicht:
23. Februar 2026
Frist:
Nicht angegeben
Thema:
Laborinstrumente

Ausschreibungsbeschreibung

Beschaffung eines spektroskopischen Ellipsometers zur Charakterisierung dielektrischer Schichten (SiO2, TiO2, Si3N4, AlN) für die QMI-Backend-Integration. Anforderungen: Wellenlängenbereich 300–1700 nm, spektrale Auflösung < 5 nm, vollautomatische 200-mm-Wafer-Bearbeitung (Kassette zu Kassette). Inklusive Offline-Software für Materialmodellierung und Datenextraktion als Mehrbenutzerlizenz. Ziel ist die Materialentwicklung für ein PVD-Sputter-Cluster am Fraunhofer IMS.

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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung

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Wer ist der Auftraggeber?
Der Auftraggeber ist Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12.
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