Opt. Konfokal- bzw. 3D-Laserscanning-Mikroskop zur berührungslosen Oberflächen- und Formmesstechnik

sowie den Ort der Leistungserbringung Opt. Konfokal- bzw. 3D-Laserscanning-Mikroskop zur berührungslosen Oberflächen- und Formmesstechnik Gegenstand der Beschaffung ist ein optisches Konfokalmikroskop bzw. 3D-Laserscanning-Mikroskop zur berührungslosen, hochauflösenden dreidimensionalen Vermessung mikrostrukturierter Oberflächen und Bauteile. Das System soll für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten im Bereich der additiven Fertigung via Zweiphotonen-Polymerisation und im Bereich der subtraktiven Fertigung wie Selective-Laser-Etching oder (Ultra-)Kurzpuls-Lasermaterialbearbeitung zur Verifikation der Form und Oberflächenbeschaffenheit von Mikrostrukturen und Mikrooptiken eingesetzt werden. Zu untersuchende Proben umfassen insbesondere: • 3D-Mikrostrukturen aus Polymeren • Glas- und Quarzsubstrate sowie weitere transparente, semitransparente und reflektierende Materialien • metallische Oberflächen und Beschichtungen, • Halbleitersubstrate (z. B. Silizium, Siliziumnitrid), • mikrostrukturierte Chips und Wafer, • diamantbasierte Substrate, • supraleitende Strukturen auf Chips und Wafern. Die Probengrößen reichen von wenigen Millimetern bis zu Substraten mit einem Durchmesser von vier Zoll. Die zu vermessenden Strukturen bestehen insbesondere aus additiv gefertigten Polymer- und Polymer-Keramik-Kompositstrukturen. Hierzu zählen unter anderem Stützstrukturen, Freiformflächen, Mikrolinsen, Linsenarrays, gestapelte optische Elemente sowie komplexe dreidimensionale Mikrostrukturen mit lateralen Abmessungen von wenigen Mikrometern bis ca. 20 mm. Das Messsystem dient insb. der quantitativen Bestimmung folgender geometrischer Größen: • 3D-Topografie, • Formabweichungen bzw. Formtreue, • Oberflächengüte und Oberflächenrauigkeit, • Höhenprofile, Winkel, Stufenhöhen, • Volumina, • Krümmungsradien und Freiformgeometrien. Da die Mikrostrukturen nach der Verifikation in andere Systeme eingebaut werden und dort optische Funktionalitäten erfüllen, muss die Vermessung vollständig berühr