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Auftrag One

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Maskaligner 200mm - PR971169-2790-W: Ausschreibung | Auftrag One

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Beschaffung eines Maskaligners zur beidseitigen Belichtung und zum Prebonden von Silicium- und Siliciumcarbidwafern mit UV-empfindlichen Fotolacken. Unterstützte Wafergrößen sind 100 mm, 150 mm und 200 mm. Das System muss zudem die Verarbeitung von Bruchstücken und kleineren Substraten ermöglichen.

Ausschreibungstyp:: Ausschreibung
Auftraggeber:: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Veröffentlicht:: 25. März 2026
Frist:: Nicht angegeben
Thema:: Laborinstrumente

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