Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.TED
Maskaligner 200mm - PR971169-2790-W
Beschaffung eines Maskaligners zur beidseitigen Belichtung und zum Prebonden von Silicium- und Siliciumcarbidwafern mit UV-empfindlichen Fotolacken. Unterstützte Wafergrößen sind 100 mm, 150 mm und 200 mm. Das System muss zudem die Verarbeitung von Bruchstücken und kleineren Substraten ermöglichen.
Laborinstrumente
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Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Veröffentlicht:
- 25. März 2026
- Frist:
- Nicht angegeben
- Thema:
- Laborinstrumente
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung eines Maskaligners zur beidseitigen Belichtung und zum Prebonden von Silicium- und Siliciumcarbidwafern mit UV-empfindlichen Fotolacken. Unterstützte Wafergrößen sind 100 mm, 150 mm und 200 mm. Das System muss zudem die Verarbeitung von Bruchstücken und kleineren Substraten ermöglichen.
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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
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- Der Auftraggeber ist Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V..
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