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Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage
Lieferung eines vollautomatisierten Sputterclustersystems für reproduzierbare Dünnschichtabscheidung in der Mikrosystemtechnik. Das System benötigt eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, Transferkammer, Heizkammer und zwei Prozesskammern mit Heizsystemen und optischer Emissionsspektrometrie (OES). Anforderungen: Co-Abscheidung aus bis zu...
Messtechnik, Laborinstrumente
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Inhalt auf einen Blick
Lieferung eines vollautomatisierten Sputterclustersystems für reproduzierbare Dünnschichtabscheidung in der Mikrosystemtechnik. Das System benötigt eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, Transferkammer, Heizkammer und zwei Prozesskammern mit Heizsystemen und optischer Emissionsspektrometrie (OES). Anforderungen: Co-Abscheidung aus bis...
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Leibniz Universität IT Services
- Veröffentlicht:
- 04. März 2026
- Frist:
- 08. April 2026
- Thema:
- Messtechnik
Ausschreibungsbeschreibung
Lieferung eines vollautomatisierten Sputterclustersystems für reproduzierbare Dünnschichtabscheidung in der Mikrosystemtechnik. Das System benötigt eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, Transferkammer, Heizkammer und zwei Prozesskammern mit Heizsystemen und optischer Emissionsspektrometrie (OES). Anforderungen: Co-Abscheidung aus bis zu vier Quellmaterialien mittels konfokaler Targetanordnung, Substratgrößen von Chiplevel bis 200 mm Wafer auf drehbaren Substrathaltern. System muss für Reinraumklasse ISO 5 kompatibel sein und zukünftig ein Ionenstrahlätzsystem (IBE) aufnehmen können. Fokus auf Nachhaltigkeitsziele (Abfallvermeidung, Ressourcenschutz, Energie-/Wassereinsparung). Leistung umfasst Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme, Abnahme und Einweisung. Gewünschter Liefertermin: 01.07.2027. Höchstpreis: 1.500.000,00 EUR.
Weiterführende Details
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
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Dokumente und Anhänge
49 Dateien erfasst- PDF Notice (BUL)
- PDF Notice (SPA)
- PDF Notice (CES)
- PDF Notice (DAN)
- PDF Notice (DEU)
- PDF Notice (EST)
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Erweiterte Suche freischaltenHäufige Fragen zu dieser Ausschreibung
- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
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- Bis wann läuft die Angebotsfrist?
- Die Angebotsfrist endet am 08. April 2026.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist Leibniz Universität IT Services.
- Welche Unterlagen sind für den Start relevant?
- In der Regel benötigen Sie Leistungsbeschreibung, Eignungsnachweise, Fristenhinweise und ggf. Formblätter. Auf Auftrag One werden diese Punkte priorisiert dargestellt.