Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - OberpfaffenhofenWeßlingTED
Beschaffung einer Anlage für klassische Mikrostrukturierungsprozesskette und Laserlithographie für den Reinraum
Beschaffung einer Laserlithographieanlage zur Ausstattung eines Reinraums für die Herstellung kompakter Quantensysteme. Die Anlage dient der direkten Lithographie auf Zielsubstraten mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken. Sie ergänzt eine bestehende Mikrotechnologie-Prozesskette vom Wafersubstrat bis zum Quant...
Laborinstrumente
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Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Oberpfaffenhofen
- Veröffentlicht:
- 02. Juli 2026
- Frist:
- 03. August 2026
- Thema:
- Laborinstrumente
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung einer Laserlithographieanlage zur Ausstattung eines Reinraums für die Herstellung kompakter Quantensysteme. Die Anlage dient der direkten Lithographie auf Zielsubstraten mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken. Sie ergänzt eine bestehende Mikrotechnologie-Prozesskette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip am Institut für Quantentechnologien der Universität Ulm. Medien und Peripherien werden separat bereitgestellt.
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Mit dem kostenlosen Zugang stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
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Auftraggeber
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Verfahrensdaten
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Bieter und Auftragnehmer
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Veröffentlichungsstelle
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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
- Erstellen Sie ein kostenloses Konto auf Auftrag One. Danach sehen Sie alle Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung in einem strukturierten Ablauf.
- Bis wann läuft die Angebotsfrist?
- Die Angebotsfrist endet am 03. August 2026.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Oberpfaffenhofen.
- Welche Unterlagen sind für den Start relevant?
- In der Regel benötigen Sie Leistungsbeschreibung, Eignungsnachweise, Fristenhinweise und ggf. Formblätter. Auf Auftrag One werden diese Punkte priorisiert dargestellt.