ETH Zürich - Abt. Procurement & Export ServicesZürich
Integrierter UHV-Cluster für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Dünnschichten
Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten auf Substraten bis 10x10 mm². Bestehend aus PLD-Kammer (KrF-Excimerlaser, in-situ Hochdruck-RHEED, epitaktisches Wachstum bis 1100°C), Sputterkammer (DC/RF Magnetronsputtern, reaktiv in Ar...
Laborinstrumente
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Inhalt auf einen Blick
Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten auf Substraten bis 10x10 mm². Bestehend aus PLD-Kammer (KrF-Excimerlaser, in-situ Hochdruck-RHEED, epitaktisches Wachstum bis 1100°C), Sputterkammer (DC/RF Magnetronsputtern, reaktiv in...
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
- Veröffentlicht:
- 31. Mai 2026
- Frist:
- 11. Juli 2026
- Thema:
- Laborinstrumente
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten auf Substraten bis 10x10 mm². Bestehend aus PLD-Kammer (KrF-Excimerlaser, in-situ Hochdruck-RHEED, epitaktisches Wachstum bis 1100°C), Sputterkammer (DC/RF Magnetronsputtern, reaktiv in Ar/O₂, Substratheizung ≥700°C, kompatibles Probenträgersystem), zentraler UHV-Transferkammer und Schleusenkammer. Alle Kammern mit Basisdrücken <1×10⁻⁷ mbar. Ermöglicht Probentransfer zu externem UHV-Transferkoffer und hat UHV-kompatible Erweiterungsports.
Weiterführende Details
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1Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
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- Bis wann läuft die Angebotsfrist?
- Die Angebotsfrist endet am 11. Juli 2026.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services.
- Welche Unterlagen sind für den Start relevant?
- In der Regel benötigen Sie Leistungsbeschreibung, Eignungsnachweise, Fristenhinweise und ggf. Formblätter. Auf Auftrag One werden diese Punkte priorisiert dargestellt.