IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikTED
Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
Beschaffung von Batch-Anlagen für LPVCD-Prozesse zur Abscheidung von Nitrid-, Oxid- und Oxynitrid-Schichten.
Messtechnik, Verfahrenstechnik
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- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
- Veröffentlicht:
- 26. März 2026
- Frist:
- Nicht angegeben
- Thema:
- Messtechnik
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung von Batch-Anlagen für LPVCD-Prozesse zur Abscheidung von Nitrid-, Oxid- und Oxynitrid-Schichten.
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- Der Auftraggeber ist IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik.
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