Fraunhofer ENAS
Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung
Die Beschaffung beinhaltet den Gas- und Vakuumanschluss für ein Cluster-Tool mit einer Kammer für die Ionenstrahlstrukturierung und 2 PVD-Kammern. Es sollen die Gase Ar, N2( 6.0), N2 (5.0), O2, He und Druckluft installiert werden, als auch 4 Vakuumleitungen zu den Vakuumpumpen und die Einbindung davon in die Abluft. Für He muss zusätzlich...
Anlagenrohrleitungsbau
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Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Fraunhofer ENAS
- Veröffentlicht:
- 12. Juli 2026
- Frist:
- 27. Juli 2026
- Thema:
- Anlagenrohrleitungsbau
Ausschreibungsbeschreibung
Die Beschaffung beinhaltet den Gas- und Vakuumanschluss für ein Cluster-Tool mit einer Kammer für die Ionenstrahlstrukturierung und 2 PVD-Kammern. Es sollen die Gase Ar, N2( 6.0), N2 (5.0), O2, He und Druckluft installiert werden, als auch 4 Vakuumleitungen zu den Vakuumpumpen und die Einbindung davon in die Abluft. Für He muss zusätzlich ein Druckminderer-Tableau aufgebaut werden. Für die anderen Gase werden bestehende Gasleitungen genutzt und erweitert, zusätzliche Druckminderer-Tableaus sind nicht notwendig. Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung
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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
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- Die Angebotsfrist endet am 27. Juli 2026.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist Fraunhofer ENAS.
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