Imec EU Pilot line NVHeverleeTED
300 MM WAFER PLATFORM WITH SINGLE WAFER CHAMBERS CVD SI/POLY+ RTO/RTA
Beschaffung einer 300-mm-Wafer-Plattform mit Single-Wafer-Kammern für CVD-Prozesse (Si/Poly) sowie RTO/RTA-Funktionalitäten (Rapid Thermal Oxidation/Annealing).
Angebotsfrist: 13. April 2026 (abgelaufen)Typ: Ausschreibung
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- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Imec EU Pilot line NV
- Veröffentlicht:
- 23. März 2026
- Frist:
- 13. April 2026
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung einer 300-mm-Wafer-Plattform mit Single-Wafer-Kammern für CVD-Prozesse (Si/Poly) sowie RTO/RTA-Funktionalitäten (Rapid Thermal Oxidation/Annealing).
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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
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- Bis wann läuft die Angebotsfrist?
- Die Angebotsfrist endet am 13. April 2026.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist Imec EU Pilot line NV.
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