Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.TED
Beschaffung einer Plasmaätzanlage (RIE/ICP-RIE) für die Mikro- und Nanofabrikation
Beschaffung von Plasmaätzanlagen (RIE/ICP-RIE) für die Mikro- und Nanofabrikation. Der Auftrag umfasst die Herstellung, den Vertrieb sowie den Service der Anlagen. Detaillierte technische Anforderungen und Spezifikationen sind dem beigefügten Lastenheft zu entnehmen.
Generators, Measurement Technology, Laboratory Instruments
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
- Published:
- March 24, 2026
- Deadline:
- April 28, 2026
- Topic:
- Generators
Tender description
Beschaffung von Plasmaätzanlagen (RIE/ICP-RIE) für die Mikro- und Nanofabrikation. Der Auftrag umfasst die Herstellung, den Vertrieb sowie den Service der Anlagen. Detaillierte technische Anforderungen und Spezifikationen sind dem beigefügten Lastenheft zu entnehmen.
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