Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12TED
Plasmasystem (IZM-115.1) - PR1115793-2590-P
Lieferung von 1 Stück Plasmasystem (IZM-115.1) für Panels bis 600 mm. Das ICP-System dient dem Trockenätzen sehr feiner RDLs (< 5 µm, Ziel 2 µm) auf großen organischen Substraten, um Nasschemie zu ersetzen und Unterfräsen von Cu-Leitungen zu vermeiden. Es ist für hohe Ätzraten organischer Materialien (Fotolacke, ABF) ausgelegt und ermögli...
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