TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OYVTTTED
Plasma enhanced chemical vapour deposition tool
Beschaffung eines automatisierten PECVD-Systems (Plasma-enhanced chemical vapor deposition) für den Kassettenbetrieb zur Abscheidung dielektrischer Dünnschichten (SiO₂, SiN, TEOS, SiON, a-Si) für Forschung und Pilotlinien im VTT Micronova Reinraum. Die Vergabe erfolgt als Direktvergabe an KLA/SPTS, da eine technische Integration in ein be...
Laboratory Instruments
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Published:
- May 11, 2026
- Deadline:
- Not specified
- Topic:
- Laboratory Instruments
Tender description
Beschaffung eines automatisierten PECVD-Systems (Plasma-enhanced chemical vapor deposition) für den Kassettenbetrieb zur Abscheidung dielektrischer Dünnschichten (SiO₂, SiN, TEOS, SiON, a-Si) für Forschung und Pilotlinien im VTT Micronova Reinraum. Die Vergabe erfolgt als Direktvergabe an KLA/SPTS, da eine technische Integration in ein bestehendes DRIE-System des Herstellers erforderlich ist, um die Lebensdauer der Ätzkammer zu verlängern und den Platzbedarf zu optimieren.
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- The contracting authority is TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY.
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