Paul Scherrer Institut (PSI)Villigen PSI
Mehrrohr-Thermoprozessofen (MTPF) für Oxidation und LPCVD im PSI PICO Reinraum
Beschaffung eines Mehrrohr-Thermoprozessofens (MTPF) für Oxidation und LPCVD. Kapazität: 50 Wafer (200 mm) pro Durchlauf, Automatisierung für mind. 4 Chargen. Ausstattung: 4 Röhren (Oxidation, Si3N4, SiO2, poly-/amorphes Si). Installation als Wanddurchführung (Beladung Reinraum, Technik Grauraum). Auslegung für 24/7-Betrieb, Verfügbarkeit...
Pumps, Compressors, Laboratory Instruments, Process Technology
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Beschaffung eines Mehrrohr-Thermoprozessofens (MTPF) für Oxidation und LPCVD. Kapazität: 50 Wafer (200 mm) pro Durchlauf, Automatisierung für mind. 4 Chargen. Ausstattung: 4 Röhren (Oxidation, Si3N4, SiO2, poly-/amorphes Si). Installation als Wanddurchführung (Beladung Reinraum, Technik Grauraum). Auslegung für 24/7-Betrieb, Verfügbark...
- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Paul Scherrer Institut (PSI)
- Published:
- April 24, 2026
- Deadline:
- July 19, 2026
- Topic:
- Pumps
Tender description
Beschaffung eines Mehrrohr-Thermoprozessofens (MTPF) für Oxidation und LPCVD. Kapazität: 50 Wafer (200 mm) pro Durchlauf, Automatisierung für mind. 4 Chargen. Ausstattung: 4 Röhren (Oxidation, Si3N4, SiO2, poly-/amorphes Si). Installation als Wanddurchführung (Beladung Reinraum, Technik Grauraum). Auslegung für 24/7-Betrieb, Verfügbarkeit mind. 90 %, 2 Jahre Garantie.
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- The submission deadline is 19. Juli 2026.
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