New: market reports on German public procurement Read the report

Leibniz Universität IT ServicesHannoverTED

Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage

Lieferung eines vollautomatisierten Sputterclustersystems für reproduzierbare Dünnschichtabscheidung in der Mikrosystemtechnik. Das System benötigt eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, Transferkammer, Heizkammer und zwei Prozesskammern mit Heizsystemen und optischer Emissionsspektrometrie (OES). Anforderungen: Co-Abscheidung aus bis zu...

Submission deadline: April 08, 2026 (expired)Type: Tender

Measurement Technology, Laboratory Instruments

Unlock documents for free

No credit card · Instant access

Content at a glance

Tender type:
Tender
Contracting authority:
Leibniz Universität IT Services
Published:
March 04, 2026
Deadline:
April 08, 2026
Topic:
Measurement Technology

Tender description

Show full description

Lieferung eines vollautomatisierten Sputterclustersystems für reproduzierbare Dünnschichtabscheidung in der Mikrosystemtechnik. Das System benötigt eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, Transferkammer, Heizkammer und zwei Prozesskammern mit Heizsystemen und optischer Emissionsspektrometrie (OES). Anforderungen: Co-Abscheidung aus bis zu vier Quellmaterialien mittels konfokaler Targetanordnung, Substratgrößen von Chiplevel bis 200 mm Wafer auf drehbaren Substrathaltern. System muss für Reinraumklasse ISO 5 kompatibel sein und zukünftig ein Ionenstrahlätzsystem (IBE) aufnehmen können. Fokus auf Nachhaltigkeitsziele (Abfallvermeidung, Ressourcenschutz, Energie-/Wassereinsparung). Leistung umfasst Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme, Abnahme und Einweisung. Gewünschter Liefertermin: 01.07.2027. Höchstpreis: 1.500.000,00 EUR.

Further details

With free access, documents, deadlines and submission notes are available in a structured format.

  • Core requirements of the tender prioritized and prepared
  • Deadlines, eligibility criteria and documents in one workflow
  • Guidance for structured bid preparation
  • Automatically discover matching follow-up tenders
Unlock 30 days free

30 days free · no credit card · cancel anytime

All procurement details

Buyer, lots, participants, locations, documents, and procedure data have already been captured. Open any area to see the complete information in your workspace.

7 data areas available

Unlock 30 days free

30 days free · no credit card · cancel anytime

Related tenders

8

Frequently asked questions about this tender

How can I apply for this tender?
Create a free account on Auftrag One. You will then see all documents, deadlines and submission notes in a structured workflow.
What is the submission deadline?
The submission deadline is 08. April 2026.
Who is the contracting authority?
The contracting authority is Leibniz Universität IT Services.
Which documents are needed to get started?
Typically you need the service description, proof of eligibility, deadline notes and possibly form sheets. On Auftrag One these items are displayed in prioritized order.
1,200+ companies10,000+ active tendersGDPR-compliant platform

Next step

Get full access to this tender

Access all documents for "Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage" from Leibniz Universität IT Services and keep track of deadlines and submission guidelines.

Deadline tracked until April 08, 2026No credit card required