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Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage
Lieferung eines vollautomatisierten Sputterclustersystems für reproduzierbare Dünnschichtabscheidung in der Mikrosystemtechnik. Das System benötigt eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, Transferkammer, Heizkammer und zwei Prozesskammern mit Heizsystemen und optischer Emissionsspektrometrie (OES). Anforderungen: Co-Abscheidung aus bis zu...
Measurement Technology, Laboratory Instruments
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- Tender type:
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- Contracting authority:
- Leibniz Universität IT Services
- Published:
- March 04, 2026
- Deadline:
- April 08, 2026
- Topic:
- Measurement Technology
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Lieferung eines vollautomatisierten Sputterclustersystems für reproduzierbare Dünnschichtabscheidung in der Mikrosystemtechnik. Das System benötigt eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, Transferkammer, Heizkammer und zwei Prozesskammern mit Heizsystemen und optischer Emissionsspektrometrie (OES). Anforderungen: Co-Abscheidung aus bis zu vier Quellmaterialien mittels konfokaler Targetanordnung, Substratgrößen von Chiplevel bis 200 mm Wafer auf drehbaren Substrathaltern. System muss für Reinraumklasse ISO 5 kompatibel sein und zukünftig ein Ionenstrahlätzsystem (IBE) aufnehmen können. Fokus auf Nachhaltigkeitsziele (Abfallvermeidung, Ressourcenschutz, Energie-/Wassereinsparung). Leistung umfasst Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme, Abnahme und Einweisung. Gewünschter Liefertermin: 01.07.2027. Höchstpreis: 1.500.000,00 EUR.
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