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Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage
Lieferung eines vollautomatisierten Sputterclustersystems für reproduzierbare Dünnschichtabscheidung in der Mikrosystemtechnik. Das System benötigt eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, Transferkammer, Heizkammer und zwei Prozesskammern mit Heizsystemen und optischer Emissionsspektrometrie (OES). Anforderungen: Co-Abscheidung aus bis zu...
Measurement Technology, Laboratory Instruments
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Lieferung eines vollautomatisierten Sputterclustersystems für reproduzierbare Dünnschichtabscheidung in der Mikrosystemtechnik. Das System benötigt eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, Transferkammer, Heizkammer und zwei Prozesskammern mit Heizsystemen und optischer Emissionsspektrometrie (OES). Anforderungen: Co-Abscheidung aus bis...
- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Leibniz Universität IT Services
- Published:
- March 04, 2026
- Deadline:
- April 08, 2026
- Topic:
- Measurement Technology
Tender description
Lieferung eines vollautomatisierten Sputterclustersystems für reproduzierbare Dünnschichtabscheidung in der Mikrosystemtechnik. Das System benötigt eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, Transferkammer, Heizkammer und zwei Prozesskammern mit Heizsystemen und optischer Emissionsspektrometrie (OES). Anforderungen: Co-Abscheidung aus bis zu vier Quellmaterialien mittels konfokaler Targetanordnung, Substratgrößen von Chiplevel bis 200 mm Wafer auf drehbaren Substrathaltern. System muss für Reinraumklasse ISO 5 kompatibel sein und zukünftig ein Ionenstrahlätzsystem (IBE) aufnehmen können. Fokus auf Nachhaltigkeitsziele (Abfallvermeidung, Ressourcenschutz, Energie-/Wassereinsparung). Leistung umfasst Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme, Abnahme und Einweisung. Gewünschter Liefertermin: 01.07.2027. Höchstpreis: 1.500.000,00 EUR.
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- What is the submission deadline?
- The submission deadline is 08. April 2026.
- Who is the contracting authority?
- The contracting authority is Leibniz Universität IT Services.
- Which documents are needed to get started?
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