Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - OberpfaffenhofenWeßlingTED
Beschaffung einer Anlage für klassische Mikrostrukturierungsprozesskette und Laserlithographie für den Reinraum
Beschaffung einer Laserlithographieanlage zur Ausstattung eines Reinraums für die Herstellung kompakter Quantensysteme. Die Anlage dient der direkten Lithographie auf Zielsubstraten mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken. Sie ergänzt eine bestehende Mikrotechnologie-Prozesskette vom Wafersubstrat bis zum Quant...
Laboratory Instruments
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- Contracting authority:
- Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Oberpfaffenhofen
- Published:
- July 02, 2026
- Deadline:
- August 03, 2026
- Topic:
- Laboratory Instruments
Tender description
Beschaffung einer Laserlithographieanlage zur Ausstattung eines Reinraums für die Herstellung kompakter Quantensysteme. Die Anlage dient der direkten Lithographie auf Zielsubstraten mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken. Sie ergänzt eine bestehende Mikrotechnologie-Prozesskette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip am Institut für Quantentechnologien der Universität Ulm. Medien und Peripherien werden separat bereitgestellt.
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- The submission deadline is 03. August 2026.
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- The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Oberpfaffenhofen.
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