Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchenTED
i-line-Stepper-Belichtungssystem (IISB.WP4.5) - PR840232-2790-P
1 Stück i-line-Stepper-Belichtungssystem zur Strukturübertragung durch selektive Belichtung von UV-empfindlichen Fotolacken mittels reduzierender Fotomaske. UV-Quelle: Quecksilberdampflampe oder LED-Option. Optionen: Anpassung Vorder-/Rückseite mit Angabe Überlagerungsgenauigkeit und Substratbedingungen; LED-Umrüstung innerhalb 10 Jahren....
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- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau
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- May 31, 2026
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Tender description
1 Stück i-line-Stepper-Belichtungssystem zur Strukturübertragung durch selektive Belichtung von UV-empfindlichen Fotolacken mittels reduzierender Fotomaske. UV-Quelle: Quecksilberdampflampe oder LED-Option. Optionen: Anpassung Vorder-/Rückseite mit Angabe Überlagerungsgenauigkeit und Substratbedingungen; LED-Umrüstung innerhalb 10 Jahren. Bearbeitung von 100-mm-Substraten mit automatischer Handhabung, Ausrichtung (Flat Align 3σ ≤10 µm) und Substratdicken 200–1650 µm (±25 µm). Bewertung nach Umstellungsaufwand von 150/200-mm auf 100-mm-Bearbeitung: durchschnittliche Dauer und Aufwand angeben.
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