Linköpings universitetLINKÖPINGTED
Lieferung von Evaporator einschließlich Prozesskammer, Vakuumpumpen, Steuerungssystem und Software
Linköping University beschafft einen Verdampfer mit physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD) durch thermische und Elektronenstrahlmethoden für die Beschichtung von dünnen Schichten in der Reinraumanlage Täppan. Das System umfasst eine Prozesskammer, Vakuumpumpen, ein Steuersystem und Software sowie Dokumentation und Schulung vor Ort.
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Linköpings universitet
- Published:
- February 19, 2026
- Deadline:
- March 20, 2026
Tender description
Linköping University beschafft einen Verdampfer mit physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD) durch thermische und Elektronenstrahlmethoden für die Beschichtung von dünnen Schichten in der Reinraumanlage Täppan. Das System umfasst eine Prozesskammer, Vakuumpumpen, ein Steuersystem und Software sowie Dokumentation und Schulung vor Ort.
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