Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.TED
Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher
Beschaffung eines Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si-Fluor-Chemie-Ätzers für das IBC-Reinraumlabor (MagKI-Programm). Das Gerät ermöglicht Deep-Trench- (Bosch-Prozess) und Through-Via-Ätzungen in Si, SiC sowie 2D-Materialien (Graphen, MoS2). Anforderungen: ISO-Klasse-6-Betrieb, Probenladung in ISO 4/5, CE-Kennzeichnung, Dokumentation (DE/...
Laboratory Instruments
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Beschaffung eines Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si-Fluor-Chemie-Ätzers für das IBC-Reinraumlabor (MagKI-Programm). Das Gerät ermöglicht Deep-Trench- (Bosch-Prozess) und Through-Via-Ätzungen in Si, SiC sowie 2D-Materialien (Graphen, MoS2). Anforderungen: ISO-Klasse-6-Betrieb, Probenladung in ISO 4/5, CE-Kennzeichnung, Dokumentation (...
- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
- Published:
- March 25, 2026
- Deadline:
- April 28, 2026
- Topic:
- Laboratory Instruments
Tender description
Beschaffung eines Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si-Fluor-Chemie-Ätzers für das IBC-Reinraumlabor (MagKI-Programm). Das Gerät ermöglicht Deep-Trench- (Bosch-Prozess) und Through-Via-Ätzungen in Si, SiC sowie 2D-Materialien (Graphen, MoS2). Anforderungen: ISO-Klasse-6-Betrieb, Probenladung in ISO 4/5, CE-Kennzeichnung, Dokumentation (DE/EN), Lieferung/Installation/SAT bis 01.06.2027, mind. 2 Jahre Garantie. Ort: HZDR Dresden, IBC, Gebäude 711, Raum 105. Lieferung DPU Dresden.
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Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher
Beschaffung eines Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si-Fluor-Chemie-Ätzgeräts für das IBC-Reinraumzentrum (HZDR, Dresden). Das Gerät ermöglicht Deep-Trench- (Bosch-Prozess) und Through-Via-Ätzungen in Si, SiC sowie 2D-Materialien (Graphen, MoS2). Anforderungen: ISO-Klasse-6-Betrieb, Probenladung in ISO 4/5, CE-Kennzeichnung, Dokumentation (DE/EN), Lieferung/Installation/SAT bis 01.06.2027, mind. 2 Jahre Garantie. Lieferung DPU Dresden, Montage im Reinraum (Gebäude 711/Raum 105). - Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Beschaffung einer DRIE-Anlage (Deep Reactive Ion Etching) für Reinraum-Mikrostrukturierung
Beschaffung einer DRIE-Anlage (Deep Reactive Ion Etching) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) für einen neuen Reinraum. Ziel ist das Ätzen tiefer Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Siliziumsubstrate/-schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken. Der Auftrag umfasst Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung. Es können neue oder neuwertige, generalüberholte Systeme angeboten werden. Medien und Peripherie werden separat bereitgestellt.
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- The submission deadline is 28. April 2026.
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- The contracting authority is Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V..
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